Modul Depan Wafer 300mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

harga tetap ditambah cukai perkhidmatan
€59,750
Tahun pembuatan
2010
Keadaan
Terpakai
Lokasi
Dresden Jerman
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Modul Depan Wafer 300mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Gambar menunjukkan
Tunjukkan peta

Data mesin

Nama mesin:
Modul Depan Wafer 300mm
Pengeluar:
BROOKS ASYST
Model:
Spartan EFEM Sorter
Tahun pembuatan:
2010
Keadaan:
terpakai

Harga & Lokasi

harga tetap ditambah cukai perkhidmatan
€59,750

Lokasi:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Jerman
Hubungi

Butiran tawaran

ID iklan:
A20798077
Nombor rujukan:
LW43278
Kemas kini:
terakhir pada 19.12.2025

Penerangan

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Model: ASYST Spartan EFEM
Type: Sorter
Condition: Used
Ijdpfx Agjx I Ax Sepstr

Technical Data:
100-240V AC
50/60Hz
10A

General:
300-mm EFEM with 3 load ports, cleanroom mini-environment, and integrated wafer transfer robot

This unit is an Equipment Front End Module (EFEM) from the ASYST Spartan series, designed for fully automated handling of 300 mm silicon wafers in semiconductor manufacturing.
It features three load ports, a mini-environment with ULPA air filters, internal lighting, comprehensive safety controls, and all necessary interfaces for seamless integration into production lines.
In addition, it comes with a fully integrated wafer transfer robot that extracts wafers from FOUP/carrier load ports, separates them, and precisely delivers them to downstream process modules.

Year of manufacture: 27.12.2010
Including CD with operating, service, and installation manuals (9701-3060-01 Rev G)

Iklan ini diterjemahkan secara automatik. Mungkin terdapat kesilapan terjemahan.

Pembekal

Didaftarkan sejak: 2014

500 Iklan dalam talian

Trustseal Icon

Telefon & Faks

+49 351 8... iklan